三氟化镓可由F2或HF与Ga2O3反应制得，氟化镓镓原子为6配位。氟化镓 参考资料 扩展阅读 氟化物 镓化合物 金属卤化物氟化镓蒸发GaF3和HF的氟化镓混合溶液可以获得三水合物GaF3·3H2O，但是氟化镓在950°C左右就会升华。

三氟化镓（GaF3）是氟化镓一种无机化合物。三氟化镓与无机酸反应生成剧毒的氟化镓氢氟酸。它具有FeF3型结构，氟化镓而(NH4)3GaF6的氟化镓热分解也可以制得它。三氟化镓几乎不溶于水。氟化镓后者受热时水解形成碱式盐GaF2(OH)。氟化镓这种白色固体的氟化镓熔点超过1000°C，